等离子体气相沉积设备(旧机）国际招标公告(1)

中航技国际经贸发展 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-12-28在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:等离子体气相沉积设备(旧机） 1台资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备 2、招标内容招标项目编号:0730-234011020148/06招标项目名称:等离子体气相沉积设备(旧机）项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	等离子体气相沉积设备(旧机）	1台	(1)PECVD—等离子体化学气相沉积的主要原理是借助射频使化学反应气体在工艺腔内解离，在局部形成等离子体。 (2)在SiNx3000 ？ /a-Si 2000 ？ /n+a-Si 500？膜层厚度条件下： 产能: ≥20片/小时 (PECVD-三层膜) 或同目前量产腔体 (3)在SiNx5000 ？膜层厚度条件下：产能: ≥ 25片/小时 (PECVD-一层膜) 或同目前量产腔体	0730-234011020148/06

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2005年1月至今必须有同类型设备（新机或旧机）5 台以上销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料） 。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！

项目 联系人：李杨  
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备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。

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